Pompa molekular anu sacara magnétis anu dikaluarkeun nyaéta pompa anu poros didukung ku kakuatan magnét.
Pompa molekular séri sacara magnétis mangrupikeun alat-alat generasi vakum anu dikembangkeun ku KYKY pikeun nyumponan sarat aplikasi pikeun bidang manufaktur semikonduktor modéren, pabrik chip, plating industri sareng instrumen ilmiah.
Kaunggulan:
1. Gesekan nol nalika operasi, sareng konsumsi kakuatan low
2. Gampang kéngingkeun leres-leres bersih vakum tinggi sareng vakum ultrahigh tanpa pelumasan pikeun pompa
3. Sanggup ngaluarkeun gas korosif pikeun jangka panjang
4. Kasalametan tinggi sareng umur jasa anu panjang kusabab panyalindungan bantalan kalayan bal keramik presisi
5. fungsi ngahasilkeun kakuatan upami ngadadak pareum-listrik
6. Bébas tina gesekan
7. Bébas tina polusi
8. Bébas pangropéa
9. Geter handap
10. dipasang dina orientasi naon waé.
Aplikasi:
Serial pompa molekular sacara magnétis biasana diterapkeun dina bidang manufaktur semikonduktor, pembuatan klip, plating industri sareng instrumen ilmiah, khususna pikeun ékstraksi gas korosif anu aya dina étch, CVD, PVD sareng implantasi ion sareng gas gampang dibekukan dina suhu normal.
Spésifikasi:
Modél |
CXF-320 / 3001E |
Kacepetan Pompa (l / s, Udara) |
3200 |
Rasio komprési |
> 1 × 108 |
Vakum pamungkas (Pa) |
≤5 × 10-7 |
Inlet Flange |
ISO-F 320 |
Outlet Flange |
KF 40 |
Kacepetan Rotasi (rpm) |
24000 |
Run-up Time (mnt) |
12 |
VIB (mm) |
<0,05 |
Pompa Nyokong (L / s) |
15 |
Ningkat atanapi ientasi |
Naon waé |
Metoda cooling |
Cai |
Beurat (kg) (Kalayan Kontroller) |
75 |
Téknologi:
- Téhnologi Kontrol pikeun Bantalan magnét: a 5-axis magnetically levitated, based on advanced international control theory, pikeun ngajamin kaunggulan anu signifikan tina shafting-gancang sakumaha operasi levitated stabil sareng dipercaya.
- Téknologi Kontrol Drive Motor: Efisiensi-tinggi DC motor sareng sistem kontrol servo-speed tinggi, ngagaduhan énergi maksimum motor sareng pikeun ngimbangan laju puteran shafting sacara otomatis, sahingga sadar start-up stabil, operasi anu dipercaya sareng fungsi régulasi otomatis énergi dinamis.
- Teknologi rotor komposit serat karbon: Dijieun ku compounding alloy aluminium kakuatan tinggi sareng serat karbon ringan. dicirikeun pangirangan beurat beurat sareng pamutahiran kakuatan anu hébat, sahingga targét tina kecepatan puter anu luhur, kinerja tinggi sareng reliabilitas anu luhur kahontal.
- Téknologi nolak korosi: Permukaan bagéan di kamar dirawat kalayan prosés khusus, sahingga permukaan tiasa nahan korosi anu disababkeun ku gas korosif dina prosés manufaktur semikonduktor pikeun waktos anu lami. Salaku tambahan, gas iners sapertos N2 sapinuhna dieusian dina poros pompa pikeun mayungan bagian vakum anu low dina pompa, sahingga fungsi gas korosif anu nyapekeun dina waktos anu lami diwujudkeun.
- Sistem kontrol suhu manaskeun: dilengkepan manaskeun listrik sareng pengontrol suhu, cai tiis, pemanasan tulang-udara, pemanasan listrik sareng panas anu dibawa ku gas pelindung tiasa diawasi sareng dikontrol nalika dioperasikeun, suhu dina pompa tiasa dijaga dina sababaraha nilai pikeun jangka panjang, sababaraha gas zat henteu dirobah janten zat padet dina suhu normal sareng henteu disimpen dina pompa, sareng sarat pikeun prosés khusus sapertos étika tiasa dipenuhan.